Germany – Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) – ALD-Anlage

Leibniz-institut Für Photonische Technologien E.v. · Germany government procurement

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$498,252
Est. Value
Closed
Status

Opportunity Overview

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.

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Solicitation Details

Issuing agencyLeibniz-institut Für Photonische Technologien E.v.
CountryGermany
CategoryResearch & Development
Estimated value$498,252
PublishedAugust 26, 2026
Procurement stageActive solicitation
ClosedSeptember 01, 2026
StatusClosed — no longer accepting responses
Original languageGerman — members read it in their own language
Official sourceView original notice
Last verifiedOctober 12, 2026

Source: Tenders Electronic Daily (TED), © European Union. Notice content reused under Commission Decision 2011/833/EU; editorial content licensed CC BY 4.0. GlobalGov is not affiliated with the European Union.

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