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France – Microelectronic machinery and apparatus – Fourniture d'un équipement de gravure profonde

CEA Grenoble · France government procurement

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$1
Est. Value
Active
Status

Opportunity Overview

Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 200 mm avec une chambre de gravure profonde du silicium de 200 mm. La chambre de gravure profonde du silicium doit pouvoir effectuer des processus de gravure Bosch et non Bosch Si, être compatible avec les gaz fluorés et effectuer la gravure à travers la plaquette. Cet équipement doit pouvoir traiter différents types de substrats en mode automatique, sans modification ni changement matériel : plaquettes collées (silicium sur verre SOG et silicium sur silicium), plaquettes d'épaisseurs différentes, plaquettes avec couches organiques au dos et plaquettes avec cavités gravées au dos. L'outil doit être équipé d'un système de détection de fin de processus OES, d'un système de protection des bords biseautés des plaquettes et d'un système de détection de fin de processus pour la gravure Via Reveal.

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Solicitation Details

Issuing agencyCEA Grenoble
CountryFrance
CategoryProfessional Services
Estimated value$1
PublishedSeptember 07, 2026
Procurement stageRequest for Proposal (RFP)
Response dueNot specified / rolling
StatusOpen — accepting responses
TranslationTranslated from French by GlobalGov’s translation pipeline
Official sourceView original notice
Last verifiedSeptember 27, 2026

Source: Tenders Electronic Daily (TED), © European Union. Notice content reused under Commission Decision 2011/833/EU; editorial content licensed CC BY 4.0. GlobalGov is not affiliated with the European Union.

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