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France – Microelectronic machinery and apparatus – Fourniture d'un banc humide automatisé à solvant pour le décapage BEOL pour le CEA Grenoble

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Le CEA LETI souhaite faire l’acquisition d'un banc humide automatisé à solvant pour le décapage BEOL. Le marché comporte également : - Des options à chiffrage obligatoire : o Option 1 : Un capteur de particules pour bacs solvants ; o Option 2 : Un bac dédié à l’Acide Fluorhydrique (HF) ; o Option 3 : Un réservoir de refroidissement. - Des options à chiffrage facultatifs : o Option 4 : Des échangeurs de chaleur et de refroidissement ; o Option 5 : Formation Maintenance de Niveau 1 ; o Option 6 : Formation Maintenance avancée ; o Option 7 : Une extension de garantie d’un (1) an ; o Option 8 : Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020).

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Solicitation Details

Issuing agencyEducation
CountryFrance
CategoryProfessional Services
PublishedJuly 03, 2026
Procurement stageRequest for Proposal (RFP)
Response dueNot specified / rolling
StatusOpen — accepting responses
Original languageFrench — members read it in their own language
Official sourceView original notice
Last verifiedOctober 07, 2026

Source: Tenders Electronic Daily (TED), © European Union. Notice content reused under Commission Decision 2011/833/EU; editorial content licensed CC BY 4.0. GlobalGov is not affiliated with the European Union.

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