France – Microelectronic machinery and apparatus – Fourniture et installation d'un équipement de dépôt ALD matériaux lithiés en 200mm

Pour ses activités de recherche, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt ALD. L’équipement est destiné à produire des couches de haute qualité d'électrolyte et d'électrode métallique à base de lithium sur des substrats de 200 mm sur des structures pouvant avoir un rapport d’aspect élevé (jusqu'à 200:1) Le marché comporte les options* avec chiffrage obligatoire suivantes : - Option n°1 : La fourniture et l’installation d’une seconde chambre ALD thermique conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.1 du cahier des charges (page 9) - Option n°2 : La fourniture d’une microbalance à cristal de quartz conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.1 du cahier des charges (page 10) Le marché comporte les options* avec chiffrage facultatif suivantes : - Option n°3 : La fourniture d’une station buffer conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.1 du cahier des charges (page 9) - Option n°4 : La fourniture d’un module d’alignement conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.1 du cahier des charges (page 9) - Option n°5 : La fourniture d’une colonne d’absorption recommandée pour les gaz d’échappement de la pompe conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.1 du cahier des charges (page 10) - Option n°6 : La fourniture d’un disque dur de rechange conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.1 du cahier des charges (page 10) - Option n°7 : La fourniture d’un jeu de réservoir de précurseurs de rechange conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.1 du cahier des charges (page 10) - Option n°8 : La fourniture d’un échangeur de chaleur/refroidisseur conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.2.6 du cahier des charges (page 11) - Option n°9 : La fourniture d’un transformateur électrique conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 4.1.4 du cahier des charges (page 19) - Option n°10 : La formation à la maintenance de premier niveau pour 4 personnes...